干法刻蚀有高的还是低的选择比?
简答题查看答案
羊毛的回潮率是多少?相比其他纤维是高还是低?为什么?
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。
判断题查看答案
对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。
有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。
如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶,则这种光刻胶为正胶。
列出并描述两种主要的光刻胶。
光刻包括两种基本的工艺类型:负性光刻和(),两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同,前者是(),后者是()。
填空题查看答案
光刻胶
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