简答题

描述各同向性和各向异性刻蚀剖面,以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的?

正确答案

各向同性的刻蚀剖面在所有方向上以相同的刻蚀速率进行刻蚀,这将带来不希望的线宽损失。各向异性的刻蚀剖面即刻蚀只在垂直于硅片表面的方向进行,只有很少的横向刻蚀。希望剖蚀面是各向异性的。

答案解析

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