刻蚀速率通常正比于刻蚀剂的浓度。

各向异性的刻蚀剖面是在所有方向上（横向和垂直方向）以相同的刻蚀速率进行刻蚀。

判断题查看答案

刻蚀剖面指的是（），有两种基本的刻蚀剖面（）刻蚀剖面和（）刻蚀剖面。

填空题查看答案

列举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点，干法刻蚀的不足之处是什么？

简答题查看答案

简述什么是干法刻蚀与湿法刻蚀。

简答题查看答案

在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

填空题查看答案

硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

单选题查看答案

大马士革工艺的重点在于介质的刻蚀而不是金属的刻蚀。

判断题查看答案

在刻蚀中用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅。

判断题查看答案

对于大马士革工艺，重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。

判断题查看答案