离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

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离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。

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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

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在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

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离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

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离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

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离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

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（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

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