多选题

干氧氧化法具备以下一系列的优点()。

A生长的二氧化硅薄膜均匀性好

B生长的二氧化硅干燥

C生长的二氧化硅结构致密

D生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

E生长的二氧化硅掩蔽能力强

正确答案

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答案解析

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