干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。
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干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。
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在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。
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下列物质中是结晶形态二氧化硅的有（）。
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钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。
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如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。
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二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。
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在半导体工艺中，与氮化硅比较，二氧化硅更适合应用在（）。
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硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。
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