光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。

根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？

简答题查看答案

什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？

简答题查看答案

光刻工艺要求掩膜版图形黑白区域之间的反差要低。（）

判断题查看答案

典型的光刻工艺主要有哪几步？简述各步骤的作用。

简答题查看答案

简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性？

简答题查看答案

光致抗蚀剂在曝光前对某些溶剂是可溶的，曝光后硬化成不可溶解的物质，这一类抗蚀剂称为负性光致抗蚀剂，由此组成的光刻胶称为负性胶。（）

判断题查看答案

光刻工艺是利用感光胶感光后抗腐蚀的特性在半导体晶片表面的掩膜层上的工艺（）

单选题查看答案

浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。

简答题查看答案

什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应？如何解决？

简答题查看答案