简答题

MEMSSi加工工艺主要分为哪两类,它们最基本的区别是什么?

正确答案

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Si工艺 体硅微机械加工工艺(Bulkmicromaching)——用晶圆自身材料来制作MEMS结构 优势:可用于制作大的深宽比、很厚的结构 表面微机械加工工艺(Surfacemicromachining)——与IC工艺兼容 牺牲层制作 阻挡层制作 牺牲层释放工艺

答案解析

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