解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？
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解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？
若计划用图示中掩膜版上黑色区域在硅片上制作扩散区，光刻时需要使用哪种光刻胶？为什么？并简介光刻操作流程。
光刻的本质是什么？
光刻和刻蚀的目的是什么？
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么？
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
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