A源蒸气
B杂质和惰性气体混合物
C水蒸气和杂志混合物
D杂质、惰性气体、水蒸气混合物
一般分析扩散系数,考虑两种条件,即恒定表面浓度条件和()。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在900~1050℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在950~1100℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
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He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的扩散率大于10-13cm2/s,这些元素称为()。
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在空位扩散中,如果迁移的空位的原子是杂质原子,扩散称为()。
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在空位扩散中,如果迁移到空位的原子是基质原子,扩散属于()。
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在确定扩散率的实验中,扩散层电阻的测量可以用()测量。
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如果磷在二氧化硅中扩散,对扩散率影响最大的因素是:()。
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下列哪些元素在硅中是快扩散元素:()。
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