单选题

铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。

A等离子体刻蚀

B反应离子刻蚀

C湿法刻蚀

D溅射刻蚀

正确答案

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答案解析

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