A预
B再
C选择
杂质原子的扩散方式有哪几种?它们各自发生的条件是什么?从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
简答题查看答案
采用无定形掩膜的情况下进行注入,若掩蔽膜/衬底界面的杂质浓度减少至峰值浓度的1/10000,掩蔽膜的厚度应为多少?用注入杂质分布的射程和标准偏差写出表达式。
简答题查看答案
恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为()分布。
单选题查看答案
在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()
填空题查看答案
杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂,但主要可分为()扩散和()扩散两种。
填空题查看答案
恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布?()
单选题查看答案
假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
简答题查看答案
简述在热氧化过程中杂质再分布的四种可能情况。
简答题查看答案
以P2O5为例,多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
简答题查看答案