简答题

简述蚀刻中的注意事项。

正确答案

(1)减少侧蚀,提高蚀刻系数
(2)提高整个板子表面蚀刻速率的均匀性
(3)成批蚀刻的板子应保证蚀刻质量的均匀性
(4)减少污染的问题
(5)蚀刻设备的维护

答案解析

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